电子束曝光机五篇

电子束曝光机 篇1

电子束曝光是20世纪60年代从扫描电子显微镜技术基础上发展起来的一种新的光刻技术。高能量的电子束具有波长短和易控制的特点,有利于在计算机控制下产生高分辨率的图形。自70年代以后,该技术在半导体集成电路制造业方面得到了广泛的应用和发展[1,2]。实用化电子束曝光系统是电工所研制的一种新型电子束曝光系统,该系统具有纳米级曝光分辨率,可进行图形拼接和套刻,既可用于制作精密实验掩模板,也可在工件上直接曝光。

电子束曝光数据格式文件EDF(Exposure Data Format)文件是电工所针对实用化电子束曝光系统设计而成的一种曝光图形文件。它可被图形发生器直接读取,经数模转换后控制电子束进行扫描曝光,刻画出所需图形[3]。EDF文件的获取可通过控制软件系统的数据格式转换功能由通用图形数据格式(CIF或GDSII格式)转换而成[4],但转换环节的存在降低了图形传输曝光的效率,不便于操作。而且作为实用化电子束曝光系统的配套软件,仅仅实现数据格式转换,不能满足用户需求,用户根据实际情况往往需要直接生成曝光数据格式文件。因此开发实现直接创建EDF文件的功能模块是保证实用化电子束曝光系统正常工作的前提。本文利用VC++6.0开发环境实现了直接创建EDF文件的功能,减少了数据格式转换环节,提高了效率,更便于进行曝光实验,达到了软件实用化的目的。

1EDF文件格式

EDF文件采用二进制方式存储,由ID、TX和LB三类节点分别描述文件的信息[4]。ID节点包含图形文件的基本信息,由文件名、改动日期、版本号等组成,位于文件头部,作为该文件的识别信息。LB节点为可选节点,用来存储图形的压缩模式所使用的图块定义,若选择压缩模式则此节点存在,否则不存在。TX节点定义了各个主场内的图形,包含主场坐标和具体图形的属性信息,包括图形的类型标志、曝光剂量因数、图层属性、层开关信息和坐标信息。图形类型标志决定了图形发生器扫描图形时所采用的扫描方式,设置曝光剂量因数可为不同区域不同大小图形分配不同的曝光剂量,从而修正曝光时的邻近效应[5],图层属性和层开关信息的设置保证了电子束曝光中的多层图形套刻的实现,坐标信息决定了曝光图形的位置。

EDF文件包含的基本图形有折线、矩形、X梯形、Y梯形和椭圆(圆),各图形属性信息保存在TX节点中,表1所示为TX节点的内容,表中只给出了矩形和椭圆的保存格式,其它图形类型类似。创建EDF文件主要是绘制TX节点中包含的基本图形,以及设置图形属性,并实现对文件的保存。

2具体实现方法

2.1版图图形绘制

利用MFC的设备环境类绘制图形,基类为CDC类,包含了绘图需要的所有成员函数[6]。每类基本图形对应一个类,如矩形对应的类为CDrawRect。其中鼠标左键按下的响应函数OnLButtonDown()实现图形的初始创建,包括创建图形起始点以及设置图形属性初始值,并将创建的图形保存到图形链表m_ObjectList中;鼠标移动响应函数OnMouseMove()实现鼠标移动时图形的擦除和绘制;鼠标左键抬起的响应函数OnLButtonUp()实现图形的最终绘制。

2.2图形属性设置

图形的属性设置是创建EDF文件最关键的环节,因为图形属性表征了EDF文件作为电子束曝光数据格式文件的主要特点。每类基本图形有相应的“属性对话框”,图1所示为矩形的属性对话框,包括图层属性、曝光剂量因数和位置坐标。

图层属性表征了图形在整个版图中所属的图层位置,图层的选择通过组合框ComboBox控件实现[7,8]。ListControl控件构成的“图层”对话框(图2(c)所示)显示所有图层及所对应的颜色,便于用户查看图形的分布情况。“图层”对话框的另一重要作用是决定是否显示某图层,从而确定该层图形的层开关信息。若显示则图形的层开关信息m_bLayer为1,否则为0。传输EDF文件时,图形发生器只接受m_bLayer为1的图形信息,进而控制电子束对其进行扫描曝光,从而实现了对不同层图形分别曝光的功能,可进行多层图形的套刻。图2(a)和图2(b)分别表示了Layer 1被选中与未被选中时图形的显示情况。

设置图形曝光剂量属性时,需要根据实际情况为不同图形赋合适的值,以减少邻近效应。需注意的是此值为曝光剂量因子,乘以基准曝光剂量才是图形曝光时真正的曝光剂量,基准曝光剂量默认为100。

图形坐标通过属性对话框设置,通过设置图形坐标用户可以任意调整图形位置及大小,以创建满足要求的版图图形。图形绘制界面有比例尺,便于用户观察编辑图形。

2.3结构体引用

针对大部分曝光版图图形含有大量重复结构的特点,设计了结构体引用,此方法可实现高效准确地绘制图形,且设计的结构体可被多次引用,大大减少了版图绘制的工作量。

实现方法为首先绘制组成曝光图形的基本图块作为结构体,将其保存到视图链表FigViewList中。引用结构体时根据结构体的名称确定所引用的图形链表,将此图形链表中的图形根据“结构引用”参数设置对话框(图3所示)所设置的行列、间距、缩放比例等要求赋给另一新建的图形链表,并将新建图形链表保存到视图链表FigViewList中,这样就实现了结构体的引用。图4所示即为根据此设置参数实现的结构体引用实例。

2.4文件保存

为了便于用户对文件进行管理,具有相同结构体或有相互联系的EDF文件保存在同一工程文件中,打开一个工程文件即可查看或编辑所含的EDF文件,并能清楚了解结构体的引用情况。图5所示为打开的工程文件,一级目录表示所含的EDF文件,次级目录表示该EDF文件所引用的结构体。此设计便于用户操作,体现了软件的友好性与实用性。

EDF文件的具体保存分为ID、LB和TX节点来进行。保存ID节点时按照文件格式要求顺序写入节点标志符“ID”、文件名、改动日期、版本号等基本信息。LB节点的内容为标志符“LB”、压缩模式图块定义、图块编号、组成图块的图形,最后是结束标志。TX节点是保存曝光图形重要信息的部分,与实际曝光有很大关系,所保存的内容如表1所示。保存TX节点时首先写入标志符“TX”;然后遍历图形链表m_ObjectList读出链表中的图形,根据图形的名称m_cName属性判断图形类型,保存每个图形的具体信息。具体保存过程流程由图6所示。

3EDF文件曝光实验结果

创建EDF文件的程序集成在控制软件系统中,利用此软件可创建用户所需版图图形,并配合电子束曝光系统其他部件实现对图形的曝光。曝光时首先设置曝光参数并对曝光场进行校正,然后驱动工件台移动到合适位置,最后打开所要曝光的EDF文件,将其传输给图形发生器,由图形发生器控制电子束对图形进行扫描曝光。图7、图8所示为利用本控制软件在电工所研制的纳米级电子束曝光系统上所做的曝光实验。图7所示图形在绘制时利用了结构体引用,且设置的每个图形的曝光剂量不同,以便根据实验结果选取合适的曝光剂量。图8所示为套刻实验结果,图形共分两层,横向上部图形与纵向右部图形位于同一层,横向下部图形与纵向左部图形位于另一层,利用EDF文件具有层开关信息的特点可以进行分层曝光,实现套刻。

4结束语

本文所介绍的利用VC++6.0实现的电子束曝光文件的绘制与保存,便于用户创建版图文件,与图形发生器控制软件的其他功能相互配合,可以高效地实现图形的曝光,并可实现曝光时的场拼接和多层图形的套刻。本数据格式应用于电工所自主研发的图形发生器上,进行曝光实验取得了很好的效果。

参考文献

[1]顾文琪,张福安.一种新型的具有角度限制的电子束投影曝光技术[J].微纳电子技术,2002(4):37-41.

[2]顾文琪.电子束曝光微纳加工技术.北京:北京工业大学出版社,2004.

[3]刘伟,方光荣,顾文琪.纳米级电子束曝光机用图形发生器[J].微细加工技术,2005(1):1-5.

[4]李晓娜,张今朝,刘伟,等.一种新型电子束曝光文件格式设计及其应用[J].微细加工技术,2005(2):24-27.

[5]刘明,陈宝钦,张建宏,等.电子束曝光中的邻近效应修正技术[J].微细加工技术,2000(1):16-20.

[6]John E Swanke.Visual C++MFC Programming by Example.机械工业出版社,1999.

[7]张宏林,朱静,李玉国,等.Visual C++6.0程序设计与开发技术大全.人民邮电出版社,2004.

电子束曝光机 篇2

项目:神奇万洁布

刊期:2015 年10 期、11 期

2.企业名称:青岛知遇堂投资管理有限公司

项目:咏春排骨米饭

刊期:2014 年11 期、12 期

3.企业名称:湖北天地人健康食品有限公司

项目:九千杯醒酒糖、皇爵氏烟酒搭档口香糖、满精玛卡精片、皇爵氏大肚子减肥茶

刊期:2014 年11 期、12 期

假如我有时光机作文 篇3

如果有了时光机，我会先回到过去，尽量阻止灾难的发生，告诉人们不要破坏环境，使用一次性的东西……再从现在送些食物给快要饿死的农民、渔民…...我还要去看看曾经发生的盛大场面，1949年的开国大典、往届的奥运会开幕式……然后我会去认识那些伟人.看他们是怎么学习、怎么工作、怎么开创一番伟业……做完这些，我要看看第一台电脑、电视、冰箱是什么样子的，他是怎样发明的，最后我还要看看那些暴龙、翼龙、剑龙、剑齿虎……顺便把我曾经做过的错事给补过来。

我再到未来,我会看看我们郑州的未来,看看人类的科技会变得多么发达,看动物进化成什么样子;看看未来的孩子是否不用写作业也不用考试了呢!看看我们未来的环境是否被破坏;看看地球的气温是否下降了;看看世界末日的人民是否能逃出来;如果逃出来了，是怎么逃出来的呢?我会把未来的灾难告诉现在的人们，让他们预防未来的灾难;未来是变成了垃圾如山，还是美丽干净;未来是绿树成荫呢，还是一座座高楼大厦呢，未来的交通工具是车子还是飞船，还是什么其他东西。

自我大曝光的作文 篇4

哈喽，我是佛山市某某学校的一名学生，今天就来个自我大曝光吧!我的优点还蛮多的，你别不信哟，什么，你真的不信?来看看吧。

聪明的我

我天资聪明，母亲又从小给了我很好的学习环境，加上我的勤奋学习，这使我越来越聪明。在学习上，我从来不会为作业多而烦恼，也不会为老师的严厉而埋怨，更不会对上课产生厌倦感。上课的.时候，老师提出的问题我总能回答;自习课上，我总是在阅读，不愿意浪费一分一秒;期中或期末的考试中，前五名总会有我的名字。我为自己的聪明而高兴!

不耻下问的我

我是一个不耻下问的人，这个品质给我带来了很多好处。在日常的作业中，如果我遇到了一些不会写或者不认识的字，我总会捧着我的书，去请教别人，不管他是学渣还是学霸;不管他是我的朋友，还是我的仇人;不管那是老师，还是同学。在请教问题的过程中，我从来不会感觉不好意思，从来不会感到难堪。正是因为这样，我的成绩越来越好，我希望这个品质能够发扬下去。

积极乐观的我

我一直都是一个乐观的人，积极乐观的态度对人有很多的好处。记得那是一次接力赛，我因接棒时没有反应过来而输了，我慢慢不热的回到教室。可是走进教室的门，迎接我的却是一声声埋怨声：“你怎么了嘛?这都可以跑输!”“你接棒的时候干嘛东张西望啊!”……我感到很尴尬，但是在这个时候，我想出了许多自我安慰的话语：“饶翠芳，你是最棒的!瞧瞧那些尽说风凉话的人，个个都是没有参加比赛的人，既然没有参赛，哪有资格埋怨我?老师不是曾经说过重在参与嘛!”想着想着，我的心随之明朗起来。我乐观，我快乐!

活泼的我

我很活泼，我的活泼也是名不虚传的。别看我上课的时候是那样的安静，一到了下课，我就判若两人。谁敢来惹我，我都会毫不犹豫的给他来盘“炒猪肉”，除非那个时候我容忍了他们的行为，否则……

爱笑的我

我的笑声很爽朗，“哈哈哈!”听啊!一个同学正在用笑话逗我，我被逗得哈哈大笑。我的笑，不需要那些多好看，多洁白的牙齿做修饰，我喜欢放肆的狂笑，也喜欢拍打着桌椅疯笑，笑得真实，笑得快乐!笑的时候，我不需要管别人用怎样的眼神去关注我，管他们怎样笑话，管他们怎样讨论，管他们怎样嫌弃。

如果我有时光机中考作文 篇5

一觉醒来，我发现我又上了“赛场”：原来，我们镇上搞了个“全民打篮球”活动，我原本只是替补后卫，只是一个后卫突然受伤了，我就替换了上去。看着队友及对手们高大威猛的样子，我觉得自己简直是“打酱油”的。但是没办法，教练在叫我上，我发现自己的身高竟然有1。8米的样子，手、脚也大了许多……

来不及多想，我立即以火箭般的速度——在规定时间到达前10秒奔到了指定位置。一切准备就绪。比赛开始了，只见对方前锋像一道闪电似的从我方队友手里抢过球，站在三分线外，猛地一跳，球从他手里飞出。我看准时机，双手一抬，在离球篮还有不到半米的时候有惊无险地接住了球……最后我们以20：19险胜对方。我们全队欢呼起来……真开心!